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技术文章

1200℃立式管式气氛炉

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AFD系列立式管式气氛炉的独特设计能够实现在真空或气氛保护条件下对样品快速升降温,四面加热,温场更均匀,立式结构使得气体排放更加顺畅,炉体垂直安装在可移动支架上有利于炉管取放温度的均匀性,可以预抽真空并能通氢气、氩气、氮气、氧气、氧化碳、氨分解气等气体,该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,特别适合薄膜生长、电测试、氧化物晶体生长、快速退火等实验需要!

1200℃立式管式气氛炉适用范围:

 立式管式气氛炉主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,应用于高、中、低温CVD工艺,如碳纳米管的研制,晶体硅基板镀膜,金属材料扩散焊接以及真空或气氛下的热处理等。

1200℃立式管式气氛炉技术参数:

产品名称

1200度立式管式气氛炉

产品型号

AFD1200-50

炉管尺寸

Φ50×1000mm

温区长度

440mm(更多规格可按照客户要求定制)


恒温区长
 

200mm

工作温度

1100℃(此温度为长期加热温度)

高温度

1200℃

控温方式

智能化30段可编程控制(用户可选配液晶触摸屏显示)

控温度

±1℃

温控保护

具有超温和断偶保护功能

加热速率

0~20℃/分

加热元件

含钼合金加热丝

工作电压

AC 220V 单相 50HZ (电路电压用户可选择定制)

大功率

3KW

炉膛材料

采用多晶陶瓷纤维,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强

法兰接头

标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀。

密封系统

该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转。

真  空 度

双旋片机械泵:10^-2 torr
分子泵机组:10^-5 torr


供气系统
 

该炉配有浮子流量计,客户可通过浮子流量计或质子流量计控制气体的流速。


炉管材质
 

气炼石英管


气  密  性
 

4.03×10-3Pa

测温元件

K型热电偶测温

净       重

70KG

提供相关配件

气炼石英炉管、真空法兰、高温手套、坩埚钩、炉塞


电气认证
 

CE认证


售后服务
 

12个月质保、终身保修

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